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退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

退火爐

連續(xù)退火爐是連續(xù)退火機(jī)組的重要組成部分。根據(jù)工藝要求，連續(xù)退火爐可分為預(yù)熱段、加熱段、均熱段、緩冷段、快冷段、時(shí)效段和終冷段等爐段。帶鋼依靠爐輥驅(qū)動(dòng)在爐內(nèi)各個(gè)區(qū)域運(yùn)行時(shí)，常會(huì)發(fā)生飄曲變形，嚴(yán)重影響了生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

連續(xù)退火爐內(nèi)帶鋼飄曲變形實(shí)質(zhì)上是薄板的屈曲和后屈曲變形，已有文獻(xiàn)分別通過(guò)實(shí)驗(yàn)、解析法和有限元法等方法對(duì)帶鋼娜曲變形進(jìn)行了研究。但目前國(guó)內(nèi)外研究帶鋼飄曲變形時(shí)，很少考慮爐輥的熱變形，大多采用固定輥形進(jìn)行研究。實(shí)際生產(chǎn)中，帶鋼在連退爐內(nèi)運(yùn)行時(shí)，由于爐輥局部與帶鋼接觸，使得爐輥溫度沿輥身方向分布不均勻，會(huì)發(fā)生形狀變化。相關(guān)研究表明:爐輥形狀對(duì)帶鋼飄曲變形影響很大，因此研究爐輥熱變形對(duì)帶鋼飄曲變形的影響是十分需要的。由于連退爐結(jié)構(gòu)的封閉性和復(fù)雜性。使得實(shí)驗(yàn)法和解析法存在局限性。